연구실 소개
우리 연구실에서는 다음과 같은 분야에 관심을 갖고 연구를 진행 중입니다.
1. Ferroelectric memory (강유전체 메모리)
무어의 법칙이 한계에 다다른 현재, 차세대 반도체 소자의 개발은 필수적이다. 본 연구실에서는
PE-ALD 장비를 이용한 원자층 단위의 정밀한 공정으로 강유전체의 잔류 분극 특성을 구현하고, 이를 응용해
비휘발성, 저전력 반도체 소자를 제작하기 위한 연구가 진행중이다. 또한 위 연구에서 더 나아가 인공지능 컴퓨팅에 활용 가능한
multi-level state를 가지는 시냅스 소자를 구현하고자 한다.
2. Plasma processing (플라즈마 공정)
반도체 산업에 있어
증착, 에칭 등의 플라즈마 공정은 반도체 공정에 있어 필수적이다. 또한 플라즈마 내 환경이 점차 가혹해지면서, 챔버 내 세라믹계 부품들의 Life Time이 짧아지고 있다. 본 연구실에서는 플라즈마 내 세라믹계 부품들의
내플라즈마 특성을 향상시키고, 플라즈마 전기적/광학적 진단을 통해 매개변수에 따라서 어떤 Etching Mechanism을 통해 식각 되어지는지 규명하고자 한다.
3. Li-ion batteries (리튬 이온 전지)
Lithium Ion Battery 의
액체전해질 사용에 따른 화재에 대한 안정성, 에너지 밀도 한계를 극복하기 위해 고
체전해질이 적용된 전고체전지의 연구가 활발하게 진행되고 있다. 본 연구실에서는 산화물계 고체전해질을 합성하고 셀 형태로 조립하여 다양한
전기화학 특성을 평가를 진행하고 있다. 이러한 연구를 통해 화학적으로
안정하고, 높은 이온 전도 특성을 갖는 고체전해질을 개발하여
전고체전지 셀 제작을 실현하고자 한다.
지도교수 소개
교수명 : 이희철
- 연구실 : D동 209호
- 연락처 : 031-8041-0589
- 이메일 : eechul@tukorea.ac.kr
- homepage : http://spplab.tukorea.ac.kr
- 연구분야 관련 국내외 우수 SCI 논문 게재 및 다수의 특허 보유